固体质量流量的计量
1904年，美国Bousser制作出早的固体质量流量的计量，该装置的原理以动量为主。1929年，下落固体颗粒的质量流量计研制出来，并成为理论与实践相互结合的初级产品。1957年，通过动量原理进行固体颗粒测量的方法被提出来。1963年，日本三协电业公司借助于垂直力进行固体的流量装置的检测，并在1968年将该装置改进为应用水平分力来检测，进而发展成为冲量式流量计。目前，国内外出现了不少测量固体质量流量的冲量式流量计，这些产品的原理近乎一致，比如国产的LFD系列等。
气体质量流量计
1911年，美国学者提出了采用热丝法来对气体质量进行测量的流量计。1914年，L.V.King通过电阻变化来替换气体冷却率，进而实现了测量。如今，不少热流式质量流量计就应用到该种方法。1964年，美国Dijeck借助于马格努斯效应，从而完成了差压质量流量计的研制，并进行了气体质量流量的测量。目前，在气体质量流量计的应用上，热流式相对多，比如国产86—系列，美国58—系列等。
液体质量流量计
在质量流量计中，测量液体的装置种类相对多。无论是动量式质量流量计，还是差压质量流量计和热流式质量流量计，都能够对液体进行测量。1962年，双涡轮式液体、气体质量流量计出现。1973年，美国研制出了能够对非线性涡轮质量流量计进行校正液体测量装置。目前，美国Rosemount公司在70年代制造出的科里奥利质量流量计应用相对较多。在此基础上，各国也生产出了类似于科里奥利流量计的产品。
