气路系统简介
气路系统产品应用于光伏及半导体领域，在设备工艺管路中实现对流体的相关控制（开关、减压、过滤、分流、流量控制等），七星流量计的气路系统可根据客户需求提供多种解决方案。
气路系统
应用场景
一、半导体领域
在集成电路装备研发和制造中，气路系统肩负着工艺气体向腔室的输送、流量设定、控制特定工艺过程的重要任务。例如调压前段供气的压力，对供气进行过滤器，并且气路中可能会直接接触特气等介质，因此对洁净度有较高要求。
产品选用半导体高纯材料，对于颗粒度有着严格要求。适用于绝大多数半导体制程设备。
二、光伏领域
在光伏装备研发和制造中，气路系统肩负着向长晶腔室输送保压气体，保持炉内压力稳定的重要任务。
产品优势
1、IGS 设计能力：七星流量计为国内多家半导体客户定制开发IGS产品解决方案，在IGS的Block-器件拼搭设计及选型等方面积累诸多经验。
2、全套零部件的解决方案：根据客户需求进行器件的选，并保证交付的连续供应。
3、高纯焊接能力：根据SEMI标准及ASTM标准搭建，可满足高纯净半导体级焊接需求。
大理石平台及三坐标显微镜
焊缝检测结果
