气体质量流量计行业发展情况

　　气体质量流量计行业发展情况

　　气体质量流量计是基于热扩散原理而设计的流量仪表。即利用流体流过发热物体时，发热物体的热量散失多少与流体的流量呈一定的比例关系。该系列流量计的传感器有两只标准级的RTD，一只用来做热源，一只用来测量流体温度，当流体流动时，两者之间的温度差与流量的大小成线性关系，再通过微电子控制技术，将这种关系转换为测量流量信号的线性输出。

　　*、气体质量流量计行业发展

　　1.热式气体质量流量计以及应用行业

　　本类仪表适用于测量小流量微小口径的清洁气体，应用于精细制造工艺和微小流量采样控制等。 半导体工业应用半导体工业曾是热式质量流量计主要服务对象，热式质量流量计是应承半导体业需求的推动而得到蓬勃发展，应用于扩散、氧化、外延、等离子刻蚀、溅射等工艺设备中，测量和控制超净气体或腐蚀/有害气体流量，如氢、氨、氟化氢、三氟化氮、氧化氮、砷化三氢、磷化氢。

　　2.热消散效应侵入式热式气体质量流量计，该类仪表应用于较大管径，除测量洁净气体外还可测量存在一些尘粒的粗放气体，如烟道气等。

　　a.取暖通风空调业 在国外暖通业也是热式气体流量计的主要服务对象，包括有无流通的监控和通风量的测量控制。

　　b.公用事业给水和污水治理应用于给水工业的原水水处理杀菌净化过程中氯气、臭氧和氨气等流量测量和控制;污水治理;曝气净化过程中空气和处理过程中产生气体的测量控制。

　　c.能源工业应用于测量天然气、锅炉通风鼓风空气、储罐管线排气等。在煤粉/空气配比过程中，测量和控制空气流量。

　　d.气体连续排放监控环境保护要求控制锅炉燃烧烟道气中S02和NO的排放总量，由流量仪表和分析仪器等组成CEM系统进行测量。

　　第三、气体质量流量计市场潜力大

　　气体质量流量计应用于气体的测量是呈现较快增长的重要因素。在技术上认可气体质量流量计仪表适用于气体的生产、测量、输送、仓储、分配和zui终用户消费的测量，开创出一个新的市场空间。从压缩天然气压缩站到零售路边加气的发送系统每一个测量点，用直接测量质量流量的在测量技术上的优点超过其他流量仪表，从而使这一领域的用量骤增。