CS330质量流量控制器是七星华创流量计新研发的数字型产品,*高流量可达200SLM氮气,并可实现数字/模拟控制模式;产品采用了新型全金属密封结构形式、大流量、低压损电磁调节阀、以及*的人工智能机器人金属表面抛光技术,可用于测量各种气体的流量,包括惰性气体、强腐蚀性气体、易燃易爆等危险性气体。产品具备精度高、响应速度快、低零漂、低温漂性能等优点,并支持DeviceNet,RS485通讯协议。
查看详细介绍CS200H质量流量控制器是七星流量计生产的数字型高温产品,其电气和机械部分采用分体式的设计,通过高温线缆连接,可以实现在高温环境下工作,能够满足复杂多变的半导体测量需求。
查看详细介绍CS300气体质量流量控制器是七星流量计专门为大规模集成电路装备设计的产品,该产品在原有CS200气体质量流上,采用了基于DF的压力信号补小偿算法,全量控制器的基础新的金属表面处理工艺,产品各项技术指标均严格按照SEM标准,支持Ⅵ型,C型GS气路系统。
查看详细介绍CS100数字气体质量流量控制器是基于七星流量计CS系列产品技术平台开发,在拥有恒功率传感器技术,数字传感器平衡技术,VCP线控制技术的基础上,采用客户定制化设计,客户可根据需要选用符合自身需求的产品,同时其*创的客户零点补唯功能(CGC),能够解决由于客户地线连接导致的MFC精度不准问题,使产品更好的适应客户环境。
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