气路系统 气路盘是七星流量计开发的气路输送系统的解决方案，该产品通过对气路原理图的设计，加工和测试，以隔膜阀，调压阀，压力传感器，过滤器，MFC等零部件实现对多种工艺气体的压力调节，纯度过滤，流量控制等功能，目前市场上常用的为传统VCR型气路盘和气体输送集成控制系统（Integrated Gas System），即IGS气路盘，这两种气路盘业务七星流量计都有能力承接。