D07-15质量流量控制器可以应用到对各种气体进行测量和控制，除测量外还可以精密控制气体的质量流量，质量流量计（MFM）可以精密测量气体的质量流量。D07-15是七星流量计专门针对客户对流量稳定性的需求研发的高稳流型产品。
D07-15质量流量控制器可以应用到对各种气体进行测量和控制，除测量外还可以精密控制气体的质量流量，质量流量计（MFM）可以精密测量气体的质量流量。D07-15是七星流量计专门针对客户对流量稳定性的需求研发的高稳流型产品。
特点
• 高稳流型
• 小体积，低波动
• 橡胶密封、模拟电路的MFC
• 采用P20金手指插头
D07-15质量流量控制器技术参数
项 目 | D07-15 | D07-15A |
流量规格 | ( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM | |
准确度 | ±1% F.S. | |
线性 | ±0.5% F.S. | |
重复精度 | ±0.2% F.S. | |
响应时间 | ≤4 sec | |
工作压差范围 | (0.1 ~ 0.3) MPa | |
大工作压力 | 0.5 | |
耐压 | 3 MPa | |
工作环境温度 | 5 ℃ ~ 45 ℃ | |
输入输出信号 | 0 V ~ +5.00 V(输入阻抗大于100K, 输出电流不大于3mA) | |
电源 | +15V 50mA | |
重量 | 0.85 kg | 0.9 kg |
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